超精密單點金剛石車床,配合B軸,實現360°分度功能
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加工軟件 超精密數控車床加工軟件[簡稱:SPDT2DTools]
編程分辨率 直線運動0.1nm,回轉運動0.000001°
性能指標 表面粗糙度Ra<5nm,面形精度PV<0.3μm
線性軸 X軸(垂直于主軸) Z軸(沿主軸)
類型 液體靜壓導軌、全閉環控制 液體靜壓導軌、全閉環控制
最大行程: 200mm 200mm
驅動方式 直線電機 直線電機
光柵分辨率 31.25pm 31.25pm
直線度: 0.1μm/100mm 0.1μm/100mm
最大進給速度: 20mm/s 20mm/s
旋轉軸 主軸(工件軸) B軸(選配)
轉速:0-6000rpm 分度角度:0-360°
旋轉精度≤20nm 定位精度±5”,臺面直徑D140mm
注:因產品和技術的持續發展,上述指標會有所調整,具體參數請聯系公司索取